炭化ケイ素カンチレバーパドル
製品の詳細とアプリケーション
大きなウェーハローディング力炭化ケイ素SiSiC / SiCカンチレバーパドル/ビームは、安定した性能、高温での非変形、大きなウェーハローディング力を備えているため、ロボットの自動ローディングおよびハンドリングシステムに適しています。カンチレバーパドルの断面は変形することなく安定しているため、既存のファーネスチューブを使用してより大きなサイズのウェーハを作成することができます。大きなウェーハ負荷力の炭化ケイ素SiSiC / SiCカンチレバーパドル/ビームは、LPVCDコーティングと同様の熱膨張係数に基づいてLPVCDに適用できます。これにより、メンテナンスとクリーニングのサイクルが大幅に延長され、汚染物質が大幅に削減されます。
反応結合炭化ケイ素RBSICの技術的パラメータ：
| 項目 | 単位 | データ |
| アプリケーションの温度 | ℃ | 1380 |
| 密度 | G / cm3 | > = 3.02 |
| 開いた気孔率 | % | <0.1 |
| モース硬度 | 13 | |
| 曲げ強度 | Mpa | 250（20℃） |
| Mpa | 280（1200℃） | |
| 弾性係数 | Gpa | 330（20℃） |
| Gpa | 300（1200℃） | |
| 熱伝導率 | W / mk | 45（1200℃） |
| 熱膨張係数 | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| 耐酸性アルカリ性 | 優秀な |
特徴：
a。高温でも変形せず、ウェーハの負荷力が大きい。
b。優れた耐熱衝撃性と長い耐用年数。
c。カンチレバーパドルの熱膨張係数は非常に小さいため、メンテナンスとクリーニングのサイクルが大幅に長くなります。
汚染物質を大幅に削減します
炭化ケイ素セラミック製の他の窯家具
ウェーハローディング用の反応焼結炭化ケイ素SiSiCカンチレバーパドルに加えて、RBSIC / SISIC炭化ケイ素ビーム、ノズルチューブ、スパイラルノズルチューブ、スワールノズルチューブ、酸化物結合SIC炭化ケイ素バット/セッタープレート、RBSIC冷却パイプなどの他のキルン家具も製造しています。 。
耐摩耗性RBSIC / SISIC炭化ケイ素製品
当社のRBSIC / SISIC炭化ケイ素製品は、優れた耐摩耗性、耐食性、長寿命という利点があるため、加工パイプやサイクロンに簡単に設置できる耐摩耗性ライニングにすることもできます。
